●瞬時のスクリーニングが可能で、稼働性の高い生産ラインを構築
●ライン導入に最適でコストパフォーマンスの高い装置設計が可能
●独自の技術で広範囲を照射する非接触レーザー方式を採用
●成膜、各種コーティング、成膜用基板ガラス等の表面異常を検出
●0.5μmまでの様々な不良を正確にキャッチするアルゴリズム搭載
●不良品判定時には傷やムラ等事前に調査した分類に振り分け可能
瞬時計測を可能にするのは独自の解析方法です。研磨や洗浄等による固有の傷パターンを想定し、画像処理する事で良否判定を瞬時に行います。さらに、不良の度合いが数値化される事で、原因の解明に役立ちます。