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RAYZN[レザン]LSG-5000 φ20㎜/1秒を実現する表面検査システム(生産ライン対応)
スピーディで生産性の高い表面検査システムの新技術。
φ20㎜/1秒の検査速度で瞬時のスクリーニングが可能に!
シリコンウエハの観測例

●瞬時のスクリーニングが可能で、稼働性の高い生産ラインを構築

●ライン導入に最適でコストパフォーマンスの高い装置設計が可能

●独自の技術で広範囲を照射する非接触レーザー方式を採用

●成膜、各種コーティング、成膜用基板ガラス等の表面異常を検出

●0.5μmまでの様々な不良を正確にキャッチするアルゴリズム搭載

●不良品判定時には傷やムラ等事前に調査した分類に振り分け可能

解析技術について
瞬時計測を可能にするのは独自の解析方法です。研磨や洗浄等による固有の傷パターンを想定し、画像処理する事で良否判定を瞬時に行います。さらに、不良の度合いが数値化される事で、原因の解明に役立ちます。
導入までのステップ
【Step1】
ヒアリング

●検査対象物についての詳細な情報をヒアリングさせていただきます。

※提示して頂いた情報は厳密に管理しているため、外部漏洩などは一切ありません。

【Step2】
デモンストレーション
●頂いた情報等を基にサンプルプログラムを作成し、対象物検査の結果レポート及び実際の運用に向けたデモンストレーションを行います。
【Step3】
システムの提案・見積

●デモンストレーションでの結果を受け、システムの料金を提示いたします。

※現場でのデモンストレーションについては、契約が不成立の場合でも請求させていただきます。

【Step4】
納品
●成約完了後ラインへの本システム設置及びインストラクションをし、納品完了となります。
 
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