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非線形応答光学系の光軸調整

超微細加工、ナノメートル制御など、レーザービームを使った精密加工技術が産業現場に浸透しつつあります。ところが、広い意味で微細加工技術にレーザービームを使うとひとつ課題が生じます。レーザービームはその微細寸法レベルではビームが変位します。光源の性能でこれを補うことも可能ですが、光源のコストが増大します。

そこで、弊社ではレーザービームのドリフトを制御して一定位置にとどめる装置を提供しています。

それが多軸光軸自動調芯装置です。作業現場の複数の条件が重なっている温度特性や、光源の応答特性など、環境が非線形な応答特性でも、比較的容易に最適な制御条件を設定できるソフトウエアを提供しています。

弊社ではそのソフトウエアに「匠アルゴリズム」という名称を与えました。

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光フィジクス研究所