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スクリーニング型検査装置

広いグランド全体を見ながら、落ちている小石を探す・・・。

唐突ですが、弊社が提案しているスクリーニング検査装置の根底に流れる設計思想です。

ミクロ物づくり、超精密加工、など産業界の加工物はナノメートルを問題にする段階に入っています。一方、そうした製造物を検査する側に目を向けた場合、はたして精密に加工を施した時間と同じ時間で検査しているのでしょうか?

弊社が提案しているスクリーニング検査装置のひとつに、光学素子評価装置(LSG1000)があります。この装置は、成膜製品などマクロな寸法の表面におけるミクロな凹凸や傷が問題となる製品の検査に使われています。

この装置は、マクロな面全体(広いグランド)を見ながら、ミクロな傷(落ちている小石)を瞬時に判断します。傷や凹凸が規定値以上であれば、不良品として分別します。そのとき、傷の大きさや寸法、場所は問わないことが弊社が提案している独自のスクリーニング検査アルゴリズムのポイントです。

精密加工製品が量産される産業現場では、不良品の瞬時分別が重要です。瞬時判断をあやまると大量の不良品を製造してしまいます。その意味で、マクロを見てミクロを検知し、良否判定を瞬時に行うスクリーニング検査技術は今後ますます重要になると考えます。

 
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